8620-002 マスフローコントローラー

Massflow Controller

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ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 3660

N2-1/4SWL-1SLM

［仕　様］
●最大流量：500SCCM、1SLM、10SLM、20SLM　●制御範囲：2〜100％（Ｆ.S.）
●応答性：2sec以下　●精度：±1.5％F.S.（25℃）　●耐圧：980kPa
●動作可能圧：500kPa以下　●サイズ：3660/76×32×95mm(継手含まず）、CR-400/73×73×119.5mm　●重さ：3660/約1000g、CR-400/約400g

マスフローコントローラーとリードアウトユニットをケーブル1本で接続することにより、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能の他、流量積算機能、流量イベント出力機能がお使いいただけます。

商品コード	8620-002
商品名	ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 3660
型式・規格	N2-1/4SWL-1SLM
価格	0
カタログページ	P.743
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